區熔爐

區熔加熱爐采用往復區熔的方式，閉環溫度控制，可靠的控制熔區的寬度問題；生長室的設計成功解決生長室的污染問題，將加熱及保溫材料均設置在生長腔室外部，采用高純石英作為腔室，同時抽真空；將流動高純氫氣通入腔室，去除腔室中的微量氧，解決氧化的問題；開發高柔性的控制軟件，采用觸摸屏進行操作，任意設置區熔的溫度，區熔的速度及次數。對于高純氣路柜內部和石英管的密封部位增加燃氣報警器，通過設備的電氣控制實現互鎖，一旦有泄漏，自動關閉加熱爐及進氣通道，改沖高純氮氣，同時大抽速真空系統立即啟動，抽走危險氣體，具有超壓自動切斷進氣并聲光報警。